空气洁净度等级
3．0．1 洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子空气洁净度等级应符合下列规定：
1 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级应按表3．0．1确定。
表3．0．1 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级
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空气洁净度 |
大于或等于要求粒径的最大浓度限值(pc/m3) |
|||||
|
0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm |
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|
1 |
10 |
2 |
— |
— |
— |
— |
|
2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
— |
— |
|
3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
— |
|
4 |
10 000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
— |
|
5 |
100 000 |
23 700 |
10 200 |
3520 |
832 |
29 |
|
6 |
1 000 000 |
237 000 |
102 000 |
35 200 |
8320 |
293 |
|
7 |
— |
— |
— |
352 000 |
83 200 |
2930 |
|
8 |
— |
— |
— |
3 520 000 |
832 000 |
29 300 |
|
9 |
— |
— |
— |
35 200 000 |
8 320 000 |
293 000 |
注：按不同的测量方法，各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过3位。
2 各种要求粒径D的最大浓度限值Cn应按下式计算：
式中：Cn——大于或等于要求粒径的最大浓度限值(pc/m3)。Cn是四舍五入至相近的整数，有效位数不超过三位数；
N——空气洁净度等级，数字不超过9，洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量；
D——要求的粒径（μm）；
0.1——常数，其量纲为μm。
3 当工艺要求粒径不止一个时，相邻两粒径中的大者与小者之比不得小于1.5倍。
4 空气洁净度等级的粒径范围应为0.1μm～0.5μm，超出粒径范围时可采用U描述符或M描述符补充说明。
3．0．2 空气洁净度等级所处状态包括空态、静态、动态，空气洁净度等级所处状态应与业主协商确定。
3．0．3 空气洁净度的测试方法应按本规范附录A的要求进行。
3．0．4 当洁净室（区）内的产品生产工艺要求控制微生物、化学污染物时，应根据工艺特点对各空气洁净度等级规定相应的微生物、化学污染物浓度限值。
