无尘室的验收测试及标准
在无尘室内,按其用途的不同应控制下列参数:
1、测试状态的确定
2、空气中粒子的浓度
3、气流的风速和单向性(对单向气流而言)
4、风量和换气次数
5、最终过滤器的整体性
6、空气温度和湿度
7、无尘室的密闭性
8、无尘室表面的洁净度
测试状态的确定:根据设计要求,一般无尘室都是对无尘室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。
空气粒子浓度的检测
洁净度级别
无尘室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的最大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,无尘室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的最大允许浓度确定的。在确定实际无尘室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。
所列为整数级别序数N和最常见值D的粒子最大允许浓度
ISON级 | 粒子最大允许浓度Cn颗m3,粒径≥下列值,微米 | |||||
0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.5 | 1.0 | 5.0 | |
ISO 1级 | 10 | 2 | - | - | - | - |
ISO 2级 | 100 | 24 | 10 | 4 | - | - |
ISO 3级 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | - |
ISO 4级 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | - |
ISO 5级 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
ISO 6级 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
ISO 7级 | - | 352000 | 83200 | 2930 | ||
ISO 8级 | - | 3520000 | 832000 | 29300 | ||
ISO 9级 | - | 8320000 | 293000 | |||
备注:浓度值Cn应四舍五入,小数点后保留三位,在实际情况下粒子浓度的实际误差是存在的,求不出精度很高的浓度。 |
ISO 4级;静态;给定粒径0.5微米(352粒子/m3)。
ISO 5级;静态;给定粒径0.5微米(3520粒子/m3);5.0微米(29粒子/m3)。
因此,在测试具体的无尘室的相应洁净度级别时,不需要检测如上表所示的该级别的所有粒子粒径。而只要检测为该种无尘室给定的粒子粒径。
测定洁净度级别的方法
在检测无尘室的洁净度级别时,应测定无尘室内1点或数点的悬浮粒子浓度(即取样点的粒子浓度)。因此必须满足下列要求:
1)确认无尘室的状态与给定的相符;
2)确定给定粒径,无尘室取样点的数量和位置;
3)确定每一取样点的取样数量;
4)确定对每一种给定粒径在每1取样点上,每1次取样的取样量和取样时间;
5)取样之后应对每一种给定粒径的粒子进行相应统计;
6)将取样数据填入按各种给定粒径统计的粒子统计记录表内(适于采用无计算机软件的粒子计数器的场合下);
7)整理取得的数据;
8)对结果进行分析;
9)整理方案确定级别应符合上表要求。
气流的检测
在无尘室中的气流:
1)气流风速(通常是控制单向气流的风速)
2)气流均匀性(单向气流风速稳定性)并目视检查气流。
空气(单向气流)的风速和风量
空气单向气流的风速是在垂直于气流方向的平面上并距离风源150-500mm处测得的。测试点的数量应大于被测表面面积的平方根,但不得小于3,应在每一个设定的网格中进行测量,测量点应均匀地分布在平面上。应在距离过滤器表面150mm处测试过滤器出口处的风速。在评价气流的均匀性时,应在距离过滤器表面300mm以上处测试风速。每1点的测量时间不得少于10秒。并且要确定平均值,最大和最小值。
气流的均匀性
根据在垂直于空气运动方向的平面上各点的风速测试数据,评价单向气流的均匀性,建议该平面应距离过滤器表面(风口)300毫米以上。平面上各点处的风速相差不得超过20%-30%。
检验过滤器的整体性
最终过滤器(HEPA,ULPA过滤器)是无尘室的重要部分。这些过滤器安设在无尘室的吊顶和墙上,装在设备和风管内。应进行泄漏检查,以控制过滤器的整体性,过滤器的渗漏意味着粒子的渗漏,会超过ГOCTP5125-99。制造商应在厂内对过滤器作最大穿透粒径试验,附过滤器检测报告,现场不做检漏。
温度的检测
在无尘室内采用两种方法控制温度:
1)一般控制
2)特殊控制
(一般控制)在通风空调系统投产-调试时,以及在无尘室检测的各个阶段和使用阶段均要进行温度的一般控制。规定工作席工作区高度处的温度,以及必要时,其他工作点的温度都要加以控制。在1小时或更多一些的时间内应周期性的连续测试6分钟。
相对湿度的控制
待通风空调系统工作稳定后,相对湿度的控制可与温度的测量同时进行。至少在每一处对相对湿度有要求的区域内设1个点进行相对湿度的测量,为了使传感器持续稳定,测量的持续时间不得少于6分钟。