洁净室洁净度的等级标准
洁净室洁净度等级的划分
在我国“洁净厂房设计规范”GB 50073-2002中对洁净室洁净度等级已做出了规定（见下表），这一规定是采用了国际标准ISO 14644中的洁净度等级。目前，我国、欧盟、日本、俄罗斯等国的洁净度等级均采用或参照上述国际标准来制订本国或本地区的洁净室洁净度的等级标准。美国也将本国的FS 209E中洁净度等级标准修改为ISO 14644标准。
洁净室及洁净区空气中悬浮粒子的洁净度等级（ISO 14644）
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空气洁净度等级（N） |
≥表中粒径的较大浓度限值（个/m3） |
|||||
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0.1 μm |
0.2 μm |
0.3 μm |
0.5 μm |
1 μm |
5 μm |
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|
1 |
10 |
2 |
/ |
/ |
/ |
/ |
|
2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
/ |
/ |
|
3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
/ |
|
4 |
10,000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
/ |
|
5 |
100,000 |
23700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
|
6 |
1,000,000 |
237000 |
102,000 |
35,200 |
8320 |
293 |
|
7 |
/ |
/ |
/ |
352,000 |
83,200 |
2,930 |
|
8 |
/ |
/ |
/ |
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
|
9 |
/ |
/ |
/ |
35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
注：
① 每点至少采样3次。
② 本标准不适用表征悬浮粒子的物理、化学、放射及生命性。
③ 根据工艺要求可确定1~2个粒径。
④ 根据要求粒径D的粒子较大允许浓度由下式确定（粒径0.1μm~5μm）
式中: N —为洁净度等级可在1~9级中间以0.1为较小单位递增量插入。
CN —大于或等于要求粒径的粒子较大允许浓度（PC/m3），以四舍五入至近似的整数，有效位数不超过三位数。
D —要求的粒径（μm）。
0.1—常数（μm）。
